真空中で物質を加熱蒸発し、基板上に薄膜を形成する成膜法。

vacuum evaporation

引用元：JIS 金属表面処理　2023

真空蒸着とは、真空中で金属や金属酸化物などの成膜材料を加熱して、
溶融・蒸発または昇華させて、基材や基板の表面に蒸発、昇華した
粒子（原子・分子）を付着・堆積させて薄膜を形成する技術。

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