被めっき物を陰極にして電解洗浄する方法。

direct cleaning

引用元：JIS 金属表面処理　2023

カソード洗浄は、被めっき物を陰極にして電解洗浄を行う方法。
この方法では、電解液から水素が発生し、その水素が被めっき物の
表面の油、有機物、酸化物などの不純物を還元分解することで、除去
することができる。

カソード洗浄の用途
・プリント基板の洗浄: プリント基板の製造工程において、はんだ付け前の
洗浄。
・半導体ウェハーの洗浄: 半導体ウェハーの製造工程において、酸化膜除去や
表面洗浄など。
・精密機械部品の洗浄: 精密機械部品の洗浄において、研磨カスや切削油などの
除去。
・金型・工具の洗浄: 金型や工具の洗浄において、研磨カスや切削油などの
除去など。

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