ICP分光分析とは？ | めっき技術レポート

不活性気体の気流中においたコイルに、数〜数十kWの
高周波発振器から高周波電流を流すと無極放電プラズマが
発生するので、この中に試料を混入して分光分析する方法です。

発光、吸光の両方法が出来ますが、プラズマの温度が
約7000Kと高いので、主として発光分析の光源に用いられます。

試料をキャリヤーガス中に噴霧する方法が多いですが
スパッタやアーク放電で固体試料を気化導入する方法もあります。

化学干渉やイオン干渉が少ない、検量線の直線範囲が広い
P,B,Sなどが分析可能、Al,Si,Ti,Zrなども高感度で分析できます。

光源用ランプ不要、多元素同時分析が可能など多くの
優れた特徴を持っております。

inductively coupled plasma spectrometrry

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