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6020 ラピッドアニーリング
イオン打込みなどで損傷を受けた基板表面に高エネルギーの レーザ、電子ビームなどを照射し、短時間に表面の欠陥や 歪みなどを除く方法。 rapid annealing お問合せのページはこちらから
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