DLC膜の現状は?
1980年までの保護膜としてはセラミック系たとえばアルミナ、
窒化チタンなどが主流として使用されてきました。
しかし、情報機器部品や摺動部品のニーズに対しては
①電子機器の軽小短薄化とポーラブル化
(部品の高密度と高集積化)
②情報伝達と記録の高密度化
により、要求される保護膜の特性が変化し、DLC
(ダイヤモンドライクカーボン)膜の重要性がますます増大し
つつあるのが現状です。
情報機器部品や摺動部品としての保護膜の要求特性は
次の項目である。
①耐摩擦、耐摩耗特性に優れていること
薄膜(膜厚:100A程度)においても耐摩耗性を
十分発揮すること
②ピンホール、膜欠陥などが無く(皆無に近く)、
表面が非常に平滑であること
薄膜(膜厚:100A程度)においても耐摩耗性を
十分発揮すること
③摩擦係数が小さいこと
④化学反応をしないこと
参考文献 表面処理対策Q&A 産業技術サービスセンター
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