805　顕微鏡断面測定法

陽極酸化皮膜の断面を顕微鏡で観察して皮膜厚さを測定する方法。

coating thickness measurement by microscope

引用元：JIS 金属表面処理　2023

顕微鏡断面測定法は、以下のような手順で行われる。

1. 試片の切断
試片は、ダイヤモンドカッターや精密ノコギリなどを用いて
切断する。
切断面は、研磨しやすいように平らに仕上げる必要がある。

2. 研磨
切断面を研磨機を用いて研磨する。研磨材は、#400～#1000程度の
粗さの研紙を用い、徐々に細かい研紙に移行しながら研磨する。
研磨後は、超音波洗浄機などで研磨粉を除去する。

3. 観察
研磨された断面を、光学顕微鏡またはSEMで観察する。
光学顕微鏡の場合は、染色を行うことで皮膜と基板の境界線をより
明確にすることができる。
SEMの場合は、より高精度の観察が可能となる。

4. 測定
観察画像から、皮膜と基板の境界線の位置を測定する。

5. 皮膜厚さの算出
測定結果から、以下の式を用いて皮膜厚さを算出する。

皮膜厚さ = 測定距離 / 倍率

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