807　スプリットビーム顕微鏡測定法

透明皮膜に入射角45°の光束を与え、その表面と素地面の
反射を利用して皮膜厚さを測定する方法。

coating thickness measurement by split beam microscope

引用元：JIS 金属表面処理　2023

スプリットビーム顕微鏡測定法は、以下の原理に基づいている。

・光源: 光源から光を2つに分光する。
・入射角: 分光した光を、45度の入射角で試片に入射する。
・反射: 試片表面と素地表面から光が反射する。
・干渉: 反射された光が干渉する。
・縞模様: 干渉によって縞模様が発生する。
・縞間隔: 縞間隔は、皮膜厚さに比例する。
・測定: 縞間隔を測定することで、皮膜厚さを算出する。

スプリットビーム顕微鏡測定法には、以下のような特徴がある。

非破壊: 試片を傷つけることなく測定できる
高精度: 高精度な測定が可能
透明皮膜に適用可能: 透明皮膜の厚さを測定できる
自動測定可能: 自動測定装置が利用できる

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